衬底温度对ZnMgO薄膜结构和光致发光性能的影响

• 作者: 孙景昌 崔硕 张焕 林茂魁 梁鸣 王玉新 董李娜 郑亚茹
• 来源期刊: 光谱学与光谱分析
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnMgO薄膜 超声喷雾热解法 衬底温度 光致发光谱
• 年，卷（期）: 2013,（8）
• 页码范围: 2051-2054
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 3189字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2013)08-2051-04

摘要

利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度(450～550℃)在石英衬底上制备出一系列ZnMgO薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)表征了样品的晶体结构、表面形貌和光学性能.结果表明衬底温度对薄膜结构性能和光学特性影响显著.所有薄膜都呈六角纤锌矿多晶结构,其中在530℃条件下制备的样品C轴择优最明显,晶粒尺寸均匀,表面形貌平整,结晶质量最好.薄膜的光致发光谱显示随着温度的升高深能级跃迁范围逐渐减小,近紫外带边发光峰逐步出现.衬底温度为530℃时在374.5 nm处出现了明显的近紫外发光峰,旦几乎没有明显的深能级跃迁出现.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑亚茹	辽宁师范大学物理与电子技术学院	30	308	7.0	17.0
2	王玉新	辽宁师范大学物理与电子技术学院	53	127	5.0	9.0
3	孙景昌	辽宁师范大学物理与电子技术学院	10	50	5.0	7.0
4	梁鸣	辽宁师范大学物理与电子技术学院	3	14	2.0	3.0
5	林茂魁	辽宁师范大学物理与电子技术学院	2	14	2.0	2.0
6	董李娜	辽宁师范大学物理与电子技术学院	2	3	1.0	1.0
7	张焕	辽宁师范大学物理与电子技术学院	1	2	1.0	1.0