微电子机械技术的发展研究

• 作者: 金本忠
• 来源期刊: 湖南农机：学术版
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子微 电子机械技术 发展与现状
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 页码范围: 91-92
• 页数: 2页
• 分类号: TH703

摘要

文章将重点介绍微电子机械技术的发展与现状,分析和探讨这一新机械技术的影响和意义,并总结出微电子机械技术发展所面临的的问题,并提出相应的策略和解决办法,从而为微电子机械技术的发展作出铺垫。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金本忠		1	0	0.0	0.0