微电子机械技术的发展研究

• 作者: 金本忠
• 来源期刊: 湖南农机
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子微 电子机械技术 发展与现状
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 设计与研究
• 页码范围: 91-92
• 页数: 2页
• 分类号: TH703
• 字数: 1921字
• 语种: 中文

摘要

文章将重点介绍微电子机械技术的发展与现状，分析和探讨这一新机械技术的影响和意义，并总结出微电子机械技术发展所面临的的问题，并提出相应的策略和解决办法，从而为微电子机械技术的发展作出铺垫。