单晶直拉工艺生长界面的工艺优化

• 作者: 司佳勇
• 来源期刊: 科技致富向导
• 关键词: 固液界面 COP 拉速
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 科技论坛
• 页码范围: 150
• 页数: 1页
• 字数: 1772字
• 语种: 中文

摘要

通过使用STR软件模拟得到的生长界面的形状来指导工艺.并仔细分析了微缺陷的形成,指出微缺陷乃是点缺陷因为浓度随着温度降低,处于过饱和状态而析出、聚结所形成.提出了解决各种缺陷的方法和手段.对工艺的指导有深刻的借鉴意义.并使用实验数据证明了设计的可行性.总之,我们通过有效的更改和设计,有效控制了旋转性杂质条纹和旋转性表面条纹.得到晶体的生长状态和品质的差异,最终选出最优工艺.