甲烷浓度对CVD多晶金刚石薄膜孪晶的影响

• 作者: 兀松 徐素芳 朱宏喜 李佳 温成芳 黄立龙
• 来源期刊: 物理测试
• 关键词: 金刚石薄膜 甲烷浓度 孪晶 织构 电子背散射衍射
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 7-10
• 语种: 中文

摘要

利用扫描电镜、X射线衍射和电子背散射衍射研究了CVD自支撑金刚石薄膜的表面形貌组织、织构和晶界分布.研究表明:金刚石薄膜制备气氛纯度较低,造成薄膜中存在较多孪晶.沉积气体中甲烷浓度升高,孪晶发生频率增加,孪晶对织构组分的影响程度增加.高频率孪晶使薄膜中{100}织构转变为{122}织构,但没有观察到明显的{511}和{411}孪晶织构,说明孪晶取向的变化具有一定的选择性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱宏喜	河南科技大学材料科学与工程学院	20	29	3.0	4.0
5	李佳	河南科技大学材料科学与工程学院	5	14	2.0	3.0
6	兀松	河南科技大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
7	黄立龙	河南科技大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
8	温成芳	河南科技大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
9	徐素芳	河南科技大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0