不同方法及衬底类型对CdS多晶薄膜性能的影响

• 作者: 丛家铭 张传军 潘永强 王善力 邬云华
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 物理学
• 关键词: CdS薄膜 磁控溅射 化学水浴 TCO
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 149-153
• 页数: 5页
• 分类号: O484.4
• 字数: 3618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1010.2014.00149

摘要

采用化学水浴法和磁控溅射法分别在AZO、FTO、ITO透明导电玻璃衬底上制备了CdS薄膜,利用扫描电镜、XRD以及透射光谱等测试手段,研究了两种制备方法对不同衬底生长CdS薄膜形貌、结构和光学性能的影响.研究结果表明,不同方法制备的CdS薄膜表面形貌均依赖于衬底的类型,水浴法制备的CdS薄膜晶粒度较大,表面相对粗糙.不同方法制备的CdS薄膜均为立方相和六角相的混相结构,溅射法制备的多晶薄膜衍射峰清晰、尖锐,结晶性较好.水浴法制备的CdS薄膜透过率整体低于溅射法,但在短波处优势明显.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘永强	西安工业大学光电工程学院	63	392	11.0	15.0
2	王善力		11	37	3.0	5.0
3	张传军		5	12	3.0	3.0
7	丛家铭	西安工业大学光电工程学院	3	3	1.0	1.0
8	邬云华		2	3	1.0	1.0