通过噪声的分析评价实现划片刀的结构优化

• 作者: 冯志华 李东亚 胡攀登
• 来源期刊: 噪声与振动控制
• 学科: 工学
• 关键词: 声学 超高速切削 工艺凹槽角度α 频谱峰值 噪声
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 信号处理与故障诊断
• 页码范围: 188-190
• 页数: 3页
• 分类号: TB535
• 字数: 2756字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-1335.2014.01.042

摘要

针对超高速旋转划片刀实际工作时存在的切削噪声问题,用INV 3018G型振动与控制分析仪器对其切削晶圆的划片刀结构进行实验分析,利用改变划片刀工艺凹槽角度α的数值,得出不同角度对应转速的频谱图,并应用统计数据图表的方法,整理分析得到角度和频谱峰值的变化曲线图,确定工艺凹槽角度α对其结构的影响,得出对应的峰值最小即产生的噪声较小.结果表明:不同工艺凹槽角度α对高速旋转划片刀结构的设计有一定意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯志华	苏州大学机电工程学院	91	596	15.0	19.0
2	李东亚	苏州大学机电工程学院	22	31	4.0	4.0
3	胡攀登		2	1	1.0	1.0