基于相变存储器器件单元的电流脉冲测试系统

• 作者: 宋志棠 王月青 王玉婵 陈一峰 陈后鹏 陈小刚 饶峰
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 相变存储器 set reset 电流脉冲 测试系统
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 光电技术应用
• 页码范围: 136-138,143
• 分类号: TN407
• 语种: 中文

摘要

相变存储器单元的测试主要包括set、reset和read操作,目前国内外多采用施加电压脉冲的方法对相变存储单元进行reset操作,这不仅容易造成器件的损坏,而且使得相变过程中瞬态电流的准确计算非常困难.与常规测试方法不同,文章提出一种专门针对相变存储器的电流脉冲测试系统,该系统可以提供准确可控的电流脉冲来对相变存储器器件单元进行操作.