磁控溅射ZrAlCuN薄膜的微观组织与力学性能

• 作者: 孟凡军 杜军 杨班权
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 薄膜 硬度 韧性 微观组织
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 109-114
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.014

摘要

采用磁控溅射技术制备不同原子比的ZrAlCuN薄膜.采用场发射扫描电镜(FESEM)观察截面形貌,高分辨透射电镜分析微观组织结构,纳米压入法测定薄膜的硬度,压入法(维氏压头)测定薄膜的韧性.结果表明:Zr0.36Al0.15Cu001N0.48薄膜截面呈纳米尺度柱状晶,沿沉积方向生长,仅存在[111]、[200]、[220]、311]取向的5～10 nm ZrN晶粒,未发现AlN及Cu独立相,硬度约41.7 GPa(载荷10 mN),弹性模量约257.8 GPa.Zr0..Al0.24Cu0.08N0.39薄膜呈纳米尺度柱状晶,存在10～20nmZrN纳米晶以及Cu[111]纳米晶,硬度约27 GPa(载荷10 mN),弹性模量约225.8 GPa.由于前者具备较高的硬度/弹性模量比,从而表现出较好的韧性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟凡军	装甲兵工程学院再制造技术国家重点实验室	28	220	9.0	13.0
2	杜军	装甲兵工程学院再制造技术国家重点实验室	34	211	9.0	12.0
3	杨班权	装甲兵工程学院机械工程系	18	53	4.0	6.0