热蒸发与离子束溅射制备 LaF3薄膜的光学特性

• 作者: 张立超 才玺坤 时光 梅林
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 LaF3 热蒸发 离子束溅射 应力 减反膜
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 光学功能材料
• 页码范围: 808-815
• 页数: 8页
• 分类号: O484.41
• 字数: 3476字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20140705.0808

摘要

研究了钼舟热蒸发工艺和离子束溅射方法制备的单层LaF3薄膜的特性。首先，采用分光光度计测量了LaF3薄膜的透射率和反射率光谱，使用不同模型拟合得出薄膜的折射率和消光系数。然后，采用应力仪测量了加热和降温过程中LaF3薄膜的应力-温度曲线。最后，采用X射线衍射仪测试了薄膜的晶体结构。实验结果表明，热蒸发制备的LaF3（ RH LaF3）存在折射率的不均匀性，在193 nm，其折射率和消光系数分别为1.687和5×10-4，而离子束溅射制备的LaF3（ IBS LaF3）折射率和消光系数分别为1.714和9×10-4。两种薄膜表现出相反的应力状态，RH LaF3薄膜具有张应力，而IBS LaF3具有压应力，退火之后其压应力减小。热蒸发制备的 MgF2/LaF3减反膜在193 nm 透过率为99.4％，反射率为0.04％，离子束溅射制备的AlF3/LaF3减反膜透过率为99.2％，反射率为0.1％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立超	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	31	306	10.0	16.0
2	梅林	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	29	4.0	5.0
3	才玺坤	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	3	16	2.0	3.0
4	时光	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	9	38	4.0	6.0