射频集成软磁薄膜器件分析

• 作者: 晓鹰 高翔
• 来源期刊: 磁性元件与电源
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜铁磁材料 复数磁导率 射频(RF) 特高频(UHF) 铁磁共振 集成磁器件 高频载波型薄膜磁场传感器
• 年，卷（期）: 2014,（11）
• 页码范围: 138-142
• 页数: 5页
• 分类号: TM454

摘要

文章首先介绍了在行波场存在的情况下，怎样对射频直到6GHz频率范围内的金属软磁薄膜的磁导率进行测量。然后，在软磁薄膜复数磁导率分布图的基础上，系统地论述了金属软磁薄膜在射频频段范围内的应用。这种磁膜用在工作频率为2GHz的绕有4匝尺寸为200×400（μm^2）矩形螺旋线圈的铁磁射频集成电感器及在AC场中，灵敏度为4．8×10^-6Am^-1／√HZ（6×10^-12T／√HZ）的高频载波型薄膜磁场传感器（也被称为GMI传感器）时具有最佳性能：L=7．9nH和Q=12．7。文章对这两种磁器件进行了详细分析。