阵列型高功率薄膜匹配负载研究

• 作者: 张万里 彭斌 蒋中东 蒋洪川 邓森洋
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 微波匹配负载 TaN薄膜 阵列型 高功率 简化实频法 丝网印刷 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 25-28
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2014.12.007

摘要

基于功率分配思想和简化实频法设计了频率为DC～20 GHz，承载功率为40 W的阵列型微波薄膜匹配负载器件；采用丝网印刷工艺和射频磁控溅射工艺制备了设计的TaN薄膜匹配负载器件。研究了所制器件的性能，结果表明，在DC～23.6 GHz，电压驻波比均小于1.3。加载功率为8，18，40 W时，薄膜表面的最高温度分别为37.6，59.5，113.6℃。热成像测试结果表明，所设计器件的两个电阻膜温度基本一致，实现了功率的平均分配。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋洪川	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	74	586	12.0	19.0
2	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
3	彭斌	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	87	638	12.0	21.0
4	邓森洋	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	20	3.0	4.0
5	蒋中东	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	2	7	2.0	2.0