一种自封装技术制备PMMA微流控通道方法研究

• 作者: 朱郑乔若 王旭迪 王时飞 赵永恒
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 引导自封装技术 聚甲基丙烯酸甲酯 微流控通道 柔性模板
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 70-73
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 字数: 1862字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.06.16

摘要

本文结合湿法腐蚀技术、紫外固化纳米压印技术、热压纳米压印技术制备出聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）沟槽微结构，基于局部加热的自封装技术成功制备出了 PMMA微流控通道。研究了硅模板结构参数的选择要求以及工艺过程中实验参数对实验的影响。实验结果表明，热硅片与基片相对运动方向应与PMMA沟槽微结构方向平行，有利于制备出变形量小、尺寸均匀的微流控通道。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王旭迪	合肥工业大学机汽学院真空与过程装备系	40	192	9.0	12.0
2	王时飞	合肥工业大学机汽学院真空与过程装备系	4	16	2.0	4.0
3	朱郑乔若	合肥工业大学机汽学院真空与过程装备系	2	2	1.0	1.0
4	赵永恒	合肥工业大学机汽学院真空与过程装备系	2	4	1.0	2.0