立体端面光刻工艺研究

• 作者: 周占福 芦刚
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 立体端面 楔形误差补偿 涂胶 光刻工艺 曝光分辨率
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 先进光刻技术与设备
• 页码范围: 23-28
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2294字
• 语种: 中文

摘要

立体端面的特种器件,要求在其单侧或者双侧表面光刻出有位置要求的图形.针对这一特种器件的要求,研制了一种可适应立体端面基体的对准工作台及楔形误差补偿机构,并根据立体端面的物理特性,在旋转涂胶法的基础上,研制了适应其涂胶工艺的装夹机构,通过工艺实验,验证了该光刻工艺的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	芦刚	中国电子科技集团公司第四十五研究所	1	0	0.0	0.0
2	周占福	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	0	0.0	0.0