一种X频段RF MEMS开关的设计与仿真

• 作者: 刘斌 苏锐
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS开关 螺旋结构 HFSS软件 X频段 插入损耗 隔离度
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 69-72
• 页数: 4页
• 分类号: TH703|TN63
• 字数: 2812字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.11.017

摘要

设计了一种可用于X频段的射频微机电系统（RF-MEMS）的开关。它通过上电极中心以及两端的螺旋结构提高了等效电感值，减小了谐振频率，从而在较低的频段下实现了较好的隔离度。采用阻抗匹配改善开关结构的射频性能。利用Ansoft HFSS软件仿真分析了开关关键结构参数对电磁性能的影响，包括绝缘介质层厚度k，上电极与下电极之间空气层厚度o、上电极宽度w和上电极间距m，总结了各参数对电磁性能的影响趋势，确定了各参数的最优取值。在整个X频段，开关开态时的插入损耗小于0.83 dB（绝对值，下同）；关态时的隔离度大于18.5 dB。在中心频率10 GHz的插入损耗为0.57 dB，隔离度为30.65 dB。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘斌	北京理工大学微电子技术研究所	18	244	5.0	15.0
2	苏锐	北京理工大学微电子技术研究所	2	1	1.0	1.0