物理冶金多晶硅太阳电池叠层钝化减反射结构模拟

• 作者: 和江变 李健 邹凯 马承鸿
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 冶金多晶硅 太阳电池 SiO2/SiNx/SiNx 钝化 减反射 PC1D模拟
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 28-32
• 页数: 5页
• 分类号: TM914.4
• 字数: 3475字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2015.06.008

摘要

采用PC1D模拟软件对p型物理冶金多晶硅太阳电池的SiO2/SiNx/SiNx叠层钝化减反射结构进行了计算模拟。结果表明：在SiN x/SiN x双层减反射结构中引入SiO 2钝化层后可以明显改善电池的外量子效率与表面减反射效果，并最终提高电池转换效率；随着SiO 2膜厚度的增加，电池表面反射率呈先降低后增加的趋势，而电池外量子效率及转换效率则呈现出相反的趋势。二氧化硅膜厚度在2~8 nm时，电池转换效率变化不大，并在6 nm时效率达到最大值18.04%，当二氧化硅膜厚度大于8 nm后电池转换效率会出现明显下降。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李健	内蒙古大学物理科学与技术学院	36	200	7.0	12.0
5	邹凯		3	7	2.0	2.0
6	和江变		4	7	2.0	2.0
7	马承鸿		2	5	1.0	2.0