不同冷等静压压力对ITO靶材性能影响的研究

• 作者: 于杰 张明杰 彭平 陈敬超
• 来源期刊: 化工新型材料
• 关键词: 模压 冷等静压 超声波 ITO素坯
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 科学研究
• 页码范围: 117-119
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

采用模压和冷等静压结合的复合压制方式,即将前处理后的ITO粉体先经过超声波辅助模压成形,再经低温脱脂后将坯体冷等静压成形.设置了不同的成形压力,在超声波功率为1.5kW的超声波振动辅助下保压4min,得到ITO素坯.研究了不同冷等静压压力对ITO素坯的致密度和形貌的影响.结果表明,在冷等静压压力为250MPa时,得到了形状规则、致密度程度高、成分均匀的ITO素坯.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈敬超		178	1833	21.0	34.0
2	于杰		68	352	12.0	16.0
3	张明杰		3	1	1.0	1.0
4	彭平		7	13	1.0	3.0