半导体器件仿真软件在微电子工艺实验中的应用研究

• 作者: 吴志颖 周涛 李文军 陆晓东
• 来源期刊: 教育教学论坛
• 学科: 地球科学
• 关键词: 微电子 实验教学 晶体管 直流增益
• 年，卷（期）: 2015,（38）
• 所属期刊栏目: 实验平台
• 页码范围: 248-249
• 页数: 2页
• 分类号: G434|N45
• 字数: 1647字
• 语种: 中文

摘要

利用Silvaco半导体器件仿真软件研究了不同注入条件和结构参数对大功率晶体管直流增益（HFE）的影响，清晰、直观地向学生们展现了晶体管电学参数、结构参数及工艺参数之间的联系。表明将器件仿真技术应用于微电子工艺实验教学，可进一步充实教学内容、丰富教学方法、增强教学效果，并提高学生器件设计和制造的能力。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李文军	渤海大学新能源学院	16	17	2.0	3.0
2	吴志颖	渤海大学新能源学院	24	70	4.0	7.0
3	周涛	渤海大学新能源学院	59	88	4.0	6.0
4	陆晓东	渤海大学新能源学院	76	99	4.0	6.0