光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究

• 作者: 周清华 杜靖 王建 胡松
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 调平调焦台 精度指标分解 函数误差原理
• 年，卷（期）: 2016,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 15-18,23
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2116字
• 语种: 中文

摘要

为了提高光刻机调平调焦台的重复定位精度,对其调平调焦台的精度指标分解开展研究.首先,应用几何关系,建立调平调焦总指标与逻辑轴之间的关系;再应用运动学原理,建立调平调焦台通用机构的逻辑轴和物理轴之间的运动关系;接着,应用函数误差原理,建立调平调焦台的精度指标分解模型.然后,采用压电陶瓷作为驱动、柔性簧片作为导向、压电陶瓷内置电容作为传感器搭建重复定位精度要求为100 nm的实验测试平台;最后实验测试平台测试结果显示,定位精度可达到90 nm,从而验证了该光刻机调平调焦台精度指标分解模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
2	王建	中国科学院光电技术研究所	154	3577	30.0	54.0
3	杜靖	中国科学院光电技术研究所	8	15	3.0	3.0
4	周清华	中国科学院光电技术研究所	2	2	1.0	1.0