MPCVD制备大面积自支撑金刚石膜研究进展

• 作者: 刘辉 吴骁 汪建华 翁俊 陈义
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 大面积 自支撑 均匀性 沉积速率
• 年，卷（期）: 2016,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 319-323,330
• 页数: 6页
• 分类号: TB321
• 字数: 3836字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2016.06.002

摘要

金刚石膜因其优异的物理化学性质备受关注，而大面积自支撑金刚石膜因其结构完整性在各大领域的应用范围更胜一筹。综述了大面积自支撑金刚石膜的、研究进展和影响其沉积均匀性和沉积速率的因素。表明微波频率越高，沉积速率越快；而气体流速对沉积速率的影响呈现先增大后减少的趋势；基片台的设计对金刚石的均匀性至关重要；辅助气体对金刚石膜的影响与添加的气体种类有关，微量N2、O2的加入可以提高沉积速率。最后对大面积自支撑金刚石在红外窗口的应用进行展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪建华	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	123	698	14.0	19.0
2	翁俊	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	33	102	4.0	8.0
3	刘辉	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	9	14	3.0	3.0
4	陈义	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	4	7	2.0	2.0
5	吴骁	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	2	5	2.0	2.0