直流脉冲磁控溅射铜膜的结构与性能研究

• 作者: 张旭海 朱迪 蒋建清 谈淑咏 陈健
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铜膜 纳米压痕 弹性模量 硬度 接触刚度
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 研究·开发
• 页码范围: 2144-2148
• 页数: 5页
• 分类号: TB3|TG14|TG17
• 字数: 3815字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2017.02.026

摘要

采用直流脉冲磁控溅射法制备铜膜,利用X射线衍射法分析薄膜相结构,通过扫描电镜观察薄膜形貌,基于纳米压痕载荷-位移曲线计算薄膜的硬度、弹性模量和接触刚度,同时采用显微硬度法测量薄膜硬度,系统研究了溅射功率和偏压对铜膜结构和力学性能的影响.结果表明,通过纳米压痕载荷-位移曲线计算薄膜力学性能是可靠的.随着溅射功率的增大,铜膜生长取向几乎无变化,均呈无择优生长状态,弹性模量、接触刚度基本不变,硬度略有减小;偏压增大会使铜膜呈现明显的(111)取向生长,接触刚度、弹性模量和硬度呈下降趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋建清	东南大学材料科学与工程学院	147	1301	17.0	25.0
2	张旭海	东南大学材料科学与工程学院	25	154	8.0	11.0
3	谈淑咏	南京工程学院材料工程学院	21	43	5.0	5.0
7	陈健	南京工程学院材料工程学院	3	7	2.0	2.0
8	朱迪	南京工程学院材料工程学院	2	5	1.0	2.0