空间高能离子在纳米级SOI SRAM中引起的 单粒子翻转特性及物理机理研究

• 作者: 何玉娟 刘远 岳龙 师谦 张战刚 彭超 恩云飞 雷志锋 黄云
• 来源期刊: 物理学报
• 关键词: 绝缘体上硅 单粒子翻转 二次电子 能损歧离
• 年，卷（期）: 2017,（24）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、力学和热学性质
• 页码范围: 181-190
• 页数: 10页
• 语种: 中文
• DOI: 10.7498/aps.66.246102

摘要

基于蒙特卡罗方法研究空间高能离子在65—32 nm绝缘体上硅静态随机存取存储器(SOI SRAM)中产生的灵敏区沉积能量谱、单粒子翻转截面和空间错误率特性及内在的物理机理.结果表明:单核能为200 MeV/n的空间离子在60—40 nm厚的灵敏区中产生的能损歧离导致纳米级SOI SRAM在亚线性能量转移阈值区域出现单粒子翻转;宽的二次电子分布导致灵敏区仅能部分收集单个高能离子径迹中的电子-空穴对,致使灵敏区最大和平均沉积能量各下降25％和33.3％,进而引起单粒子翻转概率降低,以及在轨错误率下降约80％.发现俘获带质子直接电离作用导致65 nm SOI SRAM的在轨错误率增大一到两个数量级.