国内溅射靶材行业视角下镍钒溅射靶材的制备及应用探讨

• 作者: 袁学敏 赵中雷
• 来源期刊: 中国建材科技
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射靶材 镍钒合金 应用 制备
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 80-81
• 页数: 2页
• 分类号: TG146.1
• 字数: 2234字
• 语种: 中文

摘要

镍钒溅射靶材是在制备镍钒和金的过程中,在镍熔体中加入钒,使制备出的合金更有利于磁控溅射,结合了镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点.随着社会的进步和半导体产业的发展,电子及信息、集成电路、显示器等产业对靶材的需求量越来越大,镍钒溅射靶材需求量也会增多.本文重点介绍了镍钒溅射靶材的应用,对化学成分、纯度、杂质、气孔、晶粒度等的要求,制备工艺等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁学敏		10	13	2.0	3.0
2	赵中雷		3	1	1.0	1.0