半导体集成电路可靠性测试及数据处理方法

• 作者: 陈耿
• 来源期刊: 电子测试
• 关键词: 半导体集成电路 可靠性测试 数据处理 方法研究
• 年，卷（期）: 2017,（15）
• 所属期刊栏目: 测试工具与解决方案
• 页码范围: 83,80
• 页数: 2页
• 字数: 2024字
• 语种: 中文

摘要

伴随着新材料与工艺技术的出现,半导体集成电力线宽逐渐减少,其集成度逐渐提高,对于集成电路可靠性要求逐渐严格.如今,集成电路生产加工突飞猛进,在一定程度上为集成电路可靠性研究奠定了基础.对此,笔者根据实践研究,就半导体集成电路可靠性测试与数据处理方法进行简要分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈耿		3	8	2.0	2.0