AMHS在集成电路产业的发展趋势分析

• 作者: 上海新创达智能科技有限公司
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 自动物料搬运系统 空中走行式无人搬送车 空中走行式穿梭车
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 趋势与展望
• 页码范围: 4-6
• 页数: 3页
• 分类号: TN401
• 字数: 2282字
• 语种: 中文

摘要

阐述了AMHS技术在集成电路制造产业的发展历程,并结合AMHS系统的优势和国内外技术现状,通过分析国内集成电路产业的发展趋势,认为开发适用于国内集成电路生产厂家的AMHS系统是未来AMHS系统的一个发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	上海新创达智能科技有限公司		2	1	1.0	1.0