AuGe/Au与GaAs退火处理特性研究

• 作者: 朱迪 肖和平
• 来源期刊: 量子电子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光电子学 AuGe合金 GaAs 退火处理 欧姆接触 结合能
• 年，卷（期）: 2018,（6）
• 所属期刊栏目: 半导体光电
• 页码范围: 730-735
• 页数: 6页
• 分类号: O472
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5461.2018.06.013

摘要

AuGe合金具有接触电阻低与GaAs衬底粘附性好等特点,广泛应用于金属/半导体(M/S)器件中以形成欧姆接触.在GaAs表面蒸镀AuGe/Au材料,经不同温度快速热退火后,使用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)和X射线衍射仪对样品欧姆接触的界面特性进行了分析.随着退火温度的升高,接触电阻呈现V型趋势,AuGe部分分解,Au、Ge向GaAs界面扩散,Ga、As向金属层扩散,金属表层出现暗灰色孔状物,主要成分为AuGa、AuGaAs等,此外Ge、Ga的结合能增加0.3～0.6 eV,Ga3+、Ge4+高价态的占比增加, Ge含量为10％的材料作为n-GaAs接触电极,退火温度在380～420℃之间可使其形成良好的欧姆接触.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖和平		11	11	3.0	3.0
2	朱迪		3	0	0.0	0.0