双层Au纳米颗粒/石墨烯等离子体共振增强Si肖特基结光电探测器的研究

• 作者: 何淑娟 李振 李晶晶 罗和昊 范琦
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: n型硅 石墨烯 双层金纳米颗粒 表面等离子体共振 响应速度 探测率
• 年，卷（期）: 2018,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 45-49,60
• 页数: 6页
• 分类号: TN36
• 字数: 3057字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2018.08.009

摘要

金属纳米颗粒的表面等离子体共振效应(Surface Plasmon Resonance,SPR)因其能产生较强的电场强度而备受光电探测领域的关注.采用电子束及退火技术在轻掺杂的n型硅片表面上制备双层金纳米颗粒(Au Nanoparticles,AuNPs),两层金纳米颗粒之间利用单层高质量的石墨烯进行分隔.研究表明双层金纳米颗粒间产生强的双重等离子体共振效应,在可见光波段有效地增强光电探测器的器件性能.此光电器件的响应度、 探测率、 响应上升时间/下降时间分别可达到6.7×10-3 A/W、2.31×1013 Jones、360 ns/330 ns,且高频性能优异.该研究结果可以推进等离子体增强在硅基光电探测器中的应用,并对其他光电器件具有普适性的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李振	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	7	2	1.0	1.0
2	李晶晶	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	9	15	2.0	3.0
3	范琦	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	2	2	1.0	1.0
4	何淑娟	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	2	1.0	1.0
5	罗和昊	合肥工业大学电子科学与应用物理学院	1	2	1.0	1.0