溅射靶材概述

• 作者: 于敏
• 来源期刊: 金属材料研究
• 学科: 工学
• 关键词: 溅射靶材 制备方法
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 页码范围: 1-7
• 页数: 7页
• 分类号: TG174.4

摘要

介绍了溅射靶材的种类、制备方法、应用领域,并简要介绍了几种典型的溅射靶材,傑锯基合金靶材、金基合金靶材和钛靶材的常规制备方法和发展状况。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于敏		17	0	0.0	0.0