有效实施混合集成电路工序检验

• 作者: 吴秋菊 杨亮亮 石静 赵淑霞 陈容
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 混合集成电路 镜检 不合格品 先进成像技术 自动光学检测
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 数据采集与图像处理
• 页码范围: 356-360
• 页数: 5页
• 分类号: TN45
• 字数: 3483字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2019.04.016

摘要

为避免混合集成电路在生产过程中工序检验的漏检,造成不合格品的无法及时剔除、成本的浪费、效率和可靠性降低,本文从混合集成电路工序检验的内容及作用出发,结合军工企业在混合集成电路工序检验方面的现状和面临的问题,提出了解决办法.① 提高镜检人员检验能力;② 借助先进成像技术降低镜检难度;③ 使用自动光学检测设备提升镜检效率并降低漏检率.通过3种方法,有效反馈不合格品数据到各工序,各工序进行有针对性的改进.最终,从生产线在线不合格品数据统计和生产数据统计可以看出,不仅提升了镜检效率,同时通过不合格品数据的及时、有效反馈,生产线各类典型缺陷得到明显下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨亮亮	中国电子科技集团公司第二十四研究所	4	1	1.0	1.0
2	陈容	中国电子科技集团公司第二十四研究所	2	1	1.0	1.0
3	赵淑霞	中北大学信息与通信工程学院	2	0	0.0	0.0
4	吴秋菊	中国电子科技集团公司第二十四研究所	1	0	0.0	0.0
5	石静	中国电子科技集团公司第二十四研究所	1	0	0.0	0.0