EUV光刻胶专利分析及技术热点综述

• 作者: 冯刚
• 来源期刊: 现代化工
• 学科: 工学
• 关键词: EUV光刻胶 专利分析 技术热点
• 年，卷（期）: 2019,（7）
• 所属期刊栏目: 专论与评述
• 页码范围: 11-16,18
• 页数: 7页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 5766字
• 语种: 中文
• DOI: 10.16606/j.cnki.issn0253-4320.2019.07.003

摘要

分析了全球EUV光刻胶领域专利申请态势、主要申请人和技术分布,重点介绍了基体树脂和光产酸剂结构改进方面的技术热点,并展示了有价值的专利技术信息.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯刚		9	12	2.0	2.0