多光子光刻用的杯[4]芳烃分子玻璃正性光刻胶

• 作者: 李浩 段宣明 金峰 陈卫强
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 工学
• 关键词: 杯芳烃 分子玻璃 正性光刻胶 多光子光刻
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 347-357
• 分类号: TQ57|O43
• 字数: 4082字
• 语种: 中文

摘要

分子玻璃材料和多光子光刻技术分别是近年来光刻胶和光刻技术领域的研究热点.本文对分子玻璃正性光刻胶在多光子光刻中的应用进行了探索,设计合成了叔丁氧基羰基保护的杯[4]芳烃衍生物分子玻璃材料,将其作为主体材料与光生酸剂三氟甲磺酸三苯锍鎓盐进行复配,制备了分子玻璃正性光刻胶,探讨并优化了光刻胶的成分配比及其在紫外光曝光下的显影工艺.利用780nm波长飞秒激光对所制备的分子玻璃正性光刻胶进行了多光子光刻特性的评价,实验得到了最低线宽180 nm的线条和复杂的二维微结构图形,结果表明杯[4]芳烃衍生物分子玻璃正性光刻胶有望应用于多光子光刻技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李浩	中国科学院理化技术研究所	64	498	10.0	21.0
5	金峰	中国科学院理化技术研究所	22	1166	11.0	22.0
6	段宣明	中国科学院理化技术研究所	25	80	5.0	7.0
7	陈卫强	中国科学院理化技术研究所	10	11	2.0	2.0