正性小分子光刻胶的制备探索

• 作者: 梁倩倩 汤嘉陵 王惟 董秋静 谌星伊
• 来源期刊: 四川理工学院学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 硬脂酸 邻硝基苄醇 正性小分子光刻胶
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 页码范围: 105-107
• 页数: 3页
• 分类号: TQ59
• 字数: 1562字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1549.2006.02.027

摘要

以硬脂酸、邻硝基苄醇为原料,合成了硬脂酸邻硝基苄酯,并在高压汞灯下曝光、显影,证明了以邻硝基苄醇作为光敏基元制备正性小分子光刻胶的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤嘉陵	四川大学高分子科学与工程学院	41	259	10.0	14.0
2	董秋静	四川大学高分子科学与工程学院	5	18	2.0	4.0
3	梁倩倩	四川大学高分子科学与工程学院	7	55	4.0	7.0
4	王惟	四川大学高分子科学与工程学院	8	67	4.0	8.0
5	谌星伊	四川大学高分子科学与工程学院	2	1	1.0	1.0