I-Line光刻胶材料的研究进展

• 作者: 郑金红
• 来源期刊: 影像科学与光化学
• 学科: 化学
• 关键词: i-line 光刻胶 酚醛树脂 感光剂 溶解促进剂
• 年，卷（期）: 2012,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 81-90
• 分类号: O64
• 字数: 4404字
• 语种: 中文

摘要

酚醛树脂-重氮萘醌正型光刻胶由于其优异的光刻性能,在g-line(436nm)、i-line(365 nm)光刻中被广泛使用.g-line光刻胶胶、i-line光刻胶,两者虽然都是用线型酚醛树脂做成膜树脂,重氮萘醌型酯化物作感光剂,但当曝光波长从g-line发展到i-line时,为适应对应的曝光波长以及对高分辨率的追求,酚醛树脂及感光剂的微观结构均有变化.在i-line光刻胶中,酚醛树脂的邻-邻′相连程度高,感光剂酯化度高,重氮萘醌基团间的间距远.溶解促进剂是i-line光刻胶的一个重要组分,本文对其也进行了介绍.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑金红		5	44	4.0	5.0