Ga液滴沉积量对GaAs/GaAs(001)同心量子双环形貌的影响

• 作者: 丁召 张振东 李志宏 汤佳伟 王一 罗子江 郭祥 马明明 黄延彬
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: Ga液滴沉积量 同心量子双环 液滴外延
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 原子分子物理交叉学科
• 页码范围: 261-266
• 页数: 6页
• 分类号: O47
• 字数: 2904字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2020.02.016

摘要

通过液滴外延法制备了GaAs/GaAs(001)同心量子双环(Concentric Quantum Double Rings,CQDRs),研究了Ga液滴沉积量对CQDRs的影响.研究结果发现:随着Ga液滴沉积量的增加,CQDRs密度降低,内环高度增高,外环高度降低,中心孔洞深度增加.CQDRs内环拟合结果表明,Ga液滴沉积量少于0.92ML(Monolayer,ML)时无法成环;外环拟合结果显示,在本实验条件下,形成外环的最小Ga液滴沉积量为3.1ML.拟合结果与实验结果一致,相关研究结果对液滴外延法制备GaAs同心量子双环具有指导意义.