液滴外延自组织GaAs纳米结构

• 作者: 倪海桥 周宏余 熊永华 牛智川 詹锋 赵欢 黄社松
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 液滴外延 量子点 量子单环 量子双环
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 141-144
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2+3
• 字数: 1590字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.z1.033

摘要

介绍了利用液滴外延法在晶格匹配体系AlGaAs/GaAs上自组织生长几种GaAs纳米结构.实验证实Ga液滴的形貌随晶化温度和As束流的不同而发生变化,形成一些有趣的GaAs纳米结构,如量子点、量子单环、量子双环、耦合量子双环和中国古币形状等.本文对这些纳米结构的生长机制进行了讨论.