磁控溅射制备内燃机用Ti600合金表面CrN/NbN涂层的性能表征分析

• 作者: 姜广君 张晓晖
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: CrN/NbN涂层 脉冲磁控溅射 微观组织 硬度 力学性能
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 337-341
• 页数: 5页
• 分类号: TG174
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.04.10

摘要

为了提高内燃机用Ti600合金表面性能,通过脉冲磁控溅射的方式在其表面制备CrN/NbN涂层,分析了涂层组织结构与电压、占空比的关系.研究结果表明:在CrN/NbN涂层内形成了许多柱状外形的组织成分,并且当占空比以及电压提高后,形成了致密度更大的CrN/NbN涂层.厚度随着占空比和电压的增加表现出明显的增加规律,在占空比10 μs和电压400V时,涂层厚度最大值12μm左右.随着占空比和电压的增加,硬度和弹性模量均表现出单调增加.在占空比10μs和电压400 V时,涂层硬度和弹性模量达到最大值,分别为35.6和31.7 GPa.随着占空比增加,残余应力表现出单调减小;随着电压的增加,残余应力表现出先减小后增加,最小值发生在电压380 V时.各涂层试样都产生了具有完整结构的压痕,没有发生膜与基体剥离的情况.随着占空比和电压进一步增大,在试样的压痕边缘部位产生环状分布的裂纹.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓晖	包头轻工职业技术学院能源工程系	22	11	2.0	2.0
2	姜广君	内蒙古工业大学机械工程学院	11	58	3.0	7.0