激光刻蚀不锈钢材料的二次电子发射特性研究

• 作者: 尉伟 张宇心 张波 朱邦乐 李为民 王一刚 王勇 王思慧 葛晓琴 裴香涛
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 表面处理 不锈钢 二次电子产额
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 真空技术与理论
• 页码范围: 510-513
• 页数: 4页
• 分类号: TL503.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2020.06.02

摘要

激光刻蚀是一种现代材料表面处理技术,近年来人们发现它可以有效地降低粒子加速器真空室材料表面的二次电子产额.欧洲核子研究中心已经将此方法应用到LHC对撞机亮度升级实验中.不锈钢是加速器真空室常用的结构材料,利用激光刻蚀不锈钢材料表面,通过扫描电子显微镜对样品表征,结果显示刻蚀之后材料表面存在则的沟壑结构.利用高精度二次电子特性参数测试仪测量刻蚀表面二次电子产额.发现刻蚀前后样品最大二次电子产额从2.71降低至0.89.