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单晶蓝宝石衬底晶片的化学机械抛光工艺研究
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摘要：
单晶蓝宝石具有较高的机械和光学性能,广泛应用于光电子、通信和国防等领域。蓝宝石材料(A1203)硬度极高(奠氏硬度达到 9 级,仅次于金刚石),透光传热性能好,化学性能稳定(抗酸碱腐蚀),光学、机械、化学性能优异。研究了单晶蓝宝石石衬底晶片的化学机 械抛光工艺。
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电脑乐园
主办单位：
广西金海湾电子音像出版社
出版周期：
月刊
ISSN：
1008-2352
CN：
45-1239/TP
开本：
出版地：
广西南宁市鲤湾路8号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
11860
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