MgZnO薄膜晶体管在紫外探测中的特性研究

• 作者: 刘建文 吴昀卓 岳廷峰 张耕严 曾一明 秦大双 高晓红
• 来源期刊: 电脑知识与技术:学术版
• 学科: 教育
• 关键词: MgZnO薄膜晶体管 MgZnO薄膜 MSM结构 响应度 光暗电流比
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 页码范围: 252-254
• 页数: 3页
• 分类号: G642

摘要

室温下通过磁控溅射的方式在热氧化SiO2的衬底上沉积MgZnO薄膜,研究Mg元素的少量掺杂对薄膜以及器件性能的影响,使用湿法刻蚀的方法制备了MSM结构的器件。器件开关比3.66×106,在入射波长为365nm、254nm的光照下响应度分别达到了3.16A/W、7.74A/W.光暗电流比在101~104之间。通过紫外光分度计测试出薄膜在可见光区域透过率达到90%以上,光学带隙为3.28eV。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高晓红	吉林建筑大学电气与计算机学院	34	266	4.0	16.0
2	吴昀卓	吉林建筑大学电气与计算机学院	4	0	0.0	0.0
3	秦大双	吉林建筑大学电气与计算机学院	4	0	0.0	0.0
4	曾一明	吉林建筑大学电气与计算机学院	4	0	0.0	0.0
5	张耕严	吉林建筑大学电气与计算机学院	4	0	0.0	0.0
6	岳廷峰	吉林建筑大学电气与计算机学院	4	0	0.0	0.0
7	刘建文	吉林建筑大学电气与计算机学院	4	0	0.0	0.0