脉冲激光沉积微粒控制技术的研究进展

• 作者: 代守军 余锦 貊泽强 王金舵 何建国 王晓东 孟晶晶 王宝鹏
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 关键词: 激光技术 脉冲激光沉积技术 微粒 光滑薄膜生长
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 综述|Reviews
• 页码范围: 52-62
• 页数: 11页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/LOP202158.0100004

摘要

脉冲激光沉积技术作为一种简单、通用和高效的薄膜生长技术,在科研和工业领域具有广泛的应用前景.在许多高科技应用中对薄膜质量的要求日趋严格,如何减少或消除薄膜内部和表面的微粒成为了亟待解决的问题.介绍了脉冲激光沉积技术中微粒出现的根源并讨论了各种微粒控制技术的优缺点,最后简要展望了脉冲激光沉积微粒控制技术的发展趋势.