CMP在线光学终点检测算法研究及应用

• 作者: 杨元元 杨旭 史霄 孟晓云 杨师
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 关键词: 化学机械抛光 在线终点检测 窗口检测 算法 特征点
• 年，卷（期）: 2021,（2）
• 所属期刊栏目: 测试•测量技术与设备
• 页码范围: 37-42
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2021.02.010

摘要

介绍了化学机械抛光(CMP)中表面膜层为金属和非金属晶圆的在线终点检测原理.研究了窗口检测算法,实时检测光强变化趋势,抓取趋势特征点,从控制抛光过程,实现CMP在线终点检测.实验结果表明,检测算法可达到预期的检测精度,能够满足生产实际需要.