溶胶凝胶法制备V2O5薄膜及其热致相变光电特性

• 作者: 李军显 李毅 周建忠 赵文晴 范丽娜
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 关键词: V2O5薄膜 溶胶凝胶 热致相变 光学透过率 电阻
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制|Research & Development
• 页码范围: 316-322
• 页数: 7页
• 分类号: TO484.4|TO484.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1598

摘要

基于溶胶凝胶旋涂法和后退火工艺在石英玻璃基底上制备了高质量的V2O5薄膜,研究其相变光学特性和电学特性.通过X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析了V2O5薄膜的晶体结构和形貌,利用XPS图谱分析了V2O5薄膜的组分.在不同偏压和不同温度下测试分析了V2O5薄膜的光电特性和相变特性,结果表明室温下V2O5薄膜在300～2000 nm波长范围的光学透过率达60％,薄膜在发生相变前后光学透过率有明显的变化,当升温到231℃时,V2O5薄膜在900～1600 nm近红外波长范围内的光学透过率平均降低了18％,电阻发生了3个数量级的变化,不同温度下的热滞回线也表明薄膜具有良好的可逆相变光电特性.