石墨烯/光波导集成的非对称场效应结构特性研究

• 作者: 朱相宇 张建寰 谢哲欣 刘万山
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 关键词: 石墨烯 场效应管 光波导 非对称结构
• 年，卷（期）: 2021,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与试制|Research & Development
• 页码范围: 244-249
• 页数: 6页
• 分类号: TN386
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2021.1684

摘要

基于微纳加工技术制备了具有非对称场效应结构的石墨烯/光波导集成器件,首次实验测试了交换源漏电极前后器件场效应输运特性差异,并与石墨烯场效应管进行对比分析了引入光波导结构对器件输运特性的影响.由石墨烯场效应器件模型对测试结果进行分析,结果表明交换源漏电极前后器件载流子迁移率分别为787.76和394.67 cm2?V-1?s-1,表现出明显手性差异.同时与传统石墨烯场效应器件相比,引入光波导结构改变了石墨烯沟道表面残余载流子浓度、沟道形态及掺杂分布.由此产生的电势分布和感应电荷浓度差异在影响器件输运性能的同时表现出了与传统器件相反的输运特点.