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电子工业专用设备2007年出版文献
出版文献量（篇）
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总被引数（次）
10002
电子工业专用设备
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Equipment for Electronic Products Manufacturing
影响因子
0.2109
本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
期刊荣誉：
2001~2002年度标准化规范化部级奖
获2003~2004年度出版质量部级奖
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
出版周期：
双月刊
邮编：
100029
地址：
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
总被引数（次）
10002
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 起源于生物化学领域的自组装技术正被广泛地应用到了化学、材料、生物、电子、机械等不同的学科中.在MEMS和NEMS中,自组装作为一种新型的"自下而上"的微(纳)结构制备和装配技术而得到积极的关...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 非制冷红外成像技术由于其成本低可考性好而倍受关注.一种基于MEMS双材料梁阵列的新概念光学读出红外成像系统也于今年来被提出来.介绍了这种系统成像原理,影响参数及其研究现状,最后展望了其发展前...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： RF MEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件.电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 微机电系统(MEMS:Micro E1ectro-Mechanical System)技术或微传感器与微执行器(Micromachined Tranducers)技术,它是在微电子技术的基础...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 新型MEMS应用领域的发展为现有的制造技术带来了很大的挑战,并促使了满足新加工要求的制造能力的发展.根据目前MEMS制造中普遍采用的不同的晶圆键合方法及其主要工艺参数要求,开发了一种新型的晶...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 新兴的3D互联技术以及高产量的MEMS应用需要成本低廉以及高产量的深层反应离子刻蚀系统.最优化的Alcatel深层反应离子刻蚀系统可以同时满足工艺以及硬件生产性能的高要求.这些都已经在典型刻...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 半导体制造技术已经达到了亚微米技术水平,CMP(chemical mechanical planarization)化学机械抛光是IC制造工艺中进行全局平坦化唯一的途径,分析了针对大直径晶圆...
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10. 微磨料气射流加工特性实验研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 为了获得微磨料气射流加工的一般原理,设计了一套微磨料气射流喷砂实验装置,利用该装置实验调查了射流特性及喷射参数对微磨料气射流加工的影响规律,并结合气固两相流理论对问题进行了分析.得到了微磨料...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 论述了高速粘片机晶片工作台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机和光栅尺构成了全闭环双反馈控制系统,实现了工作台的高速、高精度定位控制.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 介绍了一种用于磷酸铁锂材料大规模连续式制备设备以形成洁净、均匀、稳定气氛场的气氛净化技术,从而确保了合成产物的批次稳定性.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年1期页码:摘要： 就齿轮传动和蜗轮蜗杆传动2种方式进行较为详细的分析和比较,并计算了同一精度等级的齿轮副和蜗轮蜗杆副的传动副精度,结果显示由于传动形式不同使得蜗轮蜗杆传动副的综合误差要略低于齿轮传动副的综合误...
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14. 半导体二手设备市场剖析刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要：
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15. 为探针卡制作本土化再作贡献刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要：
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 首先根据四探针测试理论,阐述了恒流源电路在四探针测试仪中的重要性,给出了对恒流源的基本要求.然后介绍了我们在开发前期实验过的2种恒流源电路,它们分别是级联型镜象电流源电路和电压-电流转换电路...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 由于双极型三极管的开关时间参数在节能灯失效中的影响越来越受到重视,三极管存储时间ts的分档也越来越细,导致仪器UI9600晶体管参数筛选仪间的存储时间ts测试一致性成为关键.从该仪器的测试电...
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18. 用于监控电镀槽液的CVS技术刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 介绍CVS应用技术.CVS是目前半导体以及电路板业界最受广泛采用,监控电镀液中有机添加剂的技术.CVS精确分析所得的结果,可以用来作为离线或在线添加有机添加剂的依据,以保障槽液的品质.本文详...
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19. 国内要闻刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要：
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20. 国际要闻刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要：
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21. 市场要闻刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要：
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22. 全自动划片机的关键技术研究刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 根据微电子工业的发展现状,论述发展全自动划片机的必要性;从全自动划片机的工作机理出发,分析空气静压电主轴、晶圆传输定位、自动对准、自动清洗等全自动划片机的关键技术;依据分析结果提出相应的解决...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 结合划片机视觉的工艺要求,设计了基于外部设备互连PCI总线嵌入式视觉系统,选用S3C2510+ARMLINUX嵌入式软硬件架构,通过S3C2510内置PCI控制器控制PCI总线接口与图像采集...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案....
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25. 无铅波峰焊钎料氧化渣的减少措施刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 随着无铅钎料的广泛使用,波峰焊过程将产生更多的氧化渣,造成生产成本增加.阐述了液态钎料的氧化行为及无铅波峰焊锡炉中氧化渣的形成特点,并列举了几种减少氧化渣的办法,分析了他们的实用性.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 简要叙述用于半导体集成电路封装芯片粘接用材料-环氧树脂导电胶组成成分、特性,重点介绍了环氧树脂导电胶在使用过程中要考虑的因素.
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年2期页码:摘要： 芯片规模封装技术一直倍受高性能、小形状因素解决方案在各类应用中的关注.芯片规模封装与球栅阵列(BGA)封装之间的区别变得不可分辨,已成为"细间距BGA"的同义词.芯片规模封装成本也是业界关注...
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年3期页码:摘要：
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刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年3期页码:摘要：
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30. 我国硅单晶生长设备的现状与发展刊名： 电子工业专用设备发表期刊： 2007年3期页码:摘要： 在世界太阳能光伏发电产业发展的带动下,我国的太阳能光伏发电产业得到了高速度的发展,相关支撑业的市场迅速扩大,在整个产业链中,作为太阳能电池材料制备的关键设备-硅单晶生长设备发挥了至关重要的作...
电子工业专用设备基本信息
| 刊名 | 电子工业专用设备 | 主编 | 赵璋 |
| 曾用名 | |||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 | 主管单位 | 中国电子科技集团 |
| 出版周期 | 双月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1004-4507 | CN | 62-1077/TN |
| 邮编 | 100029 | 电子邮箱 | faith＿epe@sohu.net |
| 电话 | 010-64443110，64655251 | 网址 | www.chinaepe.com.cn |
| 地址 | 北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室 |
电子工业专用设备评价信息
期刊荣誉
| 1. | 2001~2002年度标准化规范化部级奖 |
| 2. | 获2003~2004年度出版质量部级奖 |
电子工业专用设备统计分析
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