基于单晶硅梁的静电RF MEMS开关

• 作者: 刘茂哲 叶甜春 景玉鹏 李全宝 李超波 欧毅 焦斌斌 陈大鹏 黄钦文
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机械开关 单晶硅梁 静电驱动
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 15-17,61
• 页数: 4页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 1466字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.004

摘要

RF MEMS开关是低功耗、低损耗高频通讯电路和系统的开关因具有零直流功耗、开关时间短、结构简单、易集成的优点而成为研究热点,但是驱动电压高、薄膜应力变形严重、寿命短等问题制约了其发展,提出了一种基于单晶硅梁的推拉式静电RFMEMS开关结构,能够解决静电RF MEMS现有的缺陷.