电磁驱动RF MEMS开关的研究状况

• 作者: 刘茂哲 叶甜春 景玉鹏 李全宝 欧毅 陈大鹏 马瑾
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: RF MEMS技术 RF MEMS开关 电磁驱动 工作电压 驱动力
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 专题报道
• 页码范围: 18-20,30
• 页数: 4页
• 分类号: TP271+.4
• 字数: 1432字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.01.005

摘要

RF MEMS技术在民用和军事方面有巨大的潜力,作为其核心器件的RF MEMS开关很有希望在雷达和通信领域之中成为关键器件.电磁驱动RF MEMS开关具有工作电压比较低,驱动力大,可以工作在恶劣的环境等优点,使其成为近年来RF MEMS开关研究的一个热点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马瑾	山东大学物理与微电子学院	44	495	13.0	20.0
2	叶甜春	中国科学院微电子研究所	200	911	14.0	18.0
3	欧毅	中国科学院微电子研究所	17	77	5.0	7.0
4	陈大鹏	中国科学院微电子研究所	79	466	10.0	17.0
5	景玉鹏	中国科学院微电子研究所	10	115	7.0	10.0
6	李全宝	山东大学物理与微电子学院	4	30	3.0	4.0
10	刘茂哲	中国科学院微电子研究所	4	30	3.0	4.0