用于光刻机模拟运动的精密工件台宏动定位系统研制

• 作者: 吴运新 杨辅强 王永华 邓习树
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机 工件台 定位 研制
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 39-43,62
• 页数: 6页
• 分类号: TH161+.6
• 字数: 3655字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.02.011

摘要

为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工件台宏动定位平台的设计和控制问题,根据工业应用中步进扫描光刻机的运动特点和工作要求,设计了一种H型精密工件台宏动定位系统和同步控制方案.试验结果表明,其各项性能指标均满足设计要求,对指导实际工业应用具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓习树	中南大学机电工程学院	17	186	9.0	13.0
2	吴运新	中南大学机电工程学院	184	1824	22.0	31.0
3	杨辅强	中南大学机电工程学院	7	27	3.0	4.0
4	王永华	中南大学机电工程学院	5	31	4.0	5.0