纳米技术与精密工程(英文)期刊
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纳米技术与精密工程(英文)

Nanotechnology and Precision Engineering
曾用名: 纳米技术与精密工程

CSTPCD

影响因子 0.4753
本刊是纳米技术与精密工程领域专业性学术期刊,主要刊登纳米技术、微机电系统、精密加工和精密测量方面用中、英文撰写的具有创造性的科学研究论文、研究报告以及重要学术问题讨论和综述等.办刊宗旨在于反映国内外该领域及相关领域的重要科学研究成果,促进学术交流和科学技术发展.读者对象为国内外理工科高等院校师生、科研人员和广大工程技术工作者.欢迎国内外作者踊跃投稿. 本刊为美国《工程索引》EI和中国科技论... 更多
主办单位:
天津大学 中国微米纳米技术学会
ISSN:
1672-6030
CN:
12-1458/03
出版周期:
季刊
邮编:
300072
地址:
天津市南开区卫津路92号
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  • 作者: 任俊峰 姚伟 张莹 李杏华 樊玉铭 陈卫东 隋修武
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  134-138
    摘要: 短筒谐振式密度传感器是以短筒谐振管为核心,基于正反馈原理,由激振元件、拾振元件、谐振子和放大电路组成的高品质闭环谐振系统.采用有限元法分析方法,研究计算了圆筒谐振子的静力学特性和模态响应等动...
  • 作者: 刘宏利 胡永乐 贾明雁 邵磊 金飞华 黄福祥
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  139-142
    摘要: 应用波长为514.5 nm的Ar+离子激光和波长为632.8 nm的He-Ne激光对Cr:KNSBN光折变晶体的非简并四波混频特性进行了实验研究.测量了相位共轭光的时间变化过程,相位共轭反射...
  • 作者: 华顺明 吴博达 曲兴田 曹殿波 杨志刚 程光明 赵宏伟
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  143-147
    摘要: 为了深入分析精密传动用柔性铰链的机械性能,在研究常用结构形式柔性铰链力学特性的基础上,对变形敏感的直角柔性铰链的力学特性进行了分析.建立了直角柔性铰链空间力学模型,推导了空间刚度矩阵表达式....
  • 作者: 刘晶晶 吴开杰 张泰石 李刚 林凌 郑羽
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  148-152
    摘要: 为了提高复杂多层样品的测量范围,构建了复谱频域光学相干层析成像系统.通过重建图像的振幅和相位可以减小图像的噪声,提高图像的质量,并对样品进行了实验.实验结果表明,该系统可以消除谱频域OCT图...
  • 作者: 宁可庆 彭月祥 王利强
    发表期刊: 2007年2期
    页码:  153-156
    摘要: 设计了Michelson干涉型激光波长计干涉条纹的单片微机计数硬件电路,编写了8254计数和Keil C51波长运算程序.为提高仪器的测量精度,在硬件和软件上提出了新的设计方案.两个8254...
  • 作者: 徐鸿博 李明雨 金大元 金宗明
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  157-163
    摘要: 感应自发热重熔(ISHR)技术在电子互连的应用中具有明显的三维选择性加热和快速加热等优点.该方法能够很好地解决由于无铅钎料的应用引起的日益严重的诸多问题,如球栅阵列中各钎料球受热不均匀和芯片...
  • 作者: 刘瑾 张乐石 徐可欣
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  164-168
    摘要: 系统研究了类内变化和类数目增加所引起的人脸识别中的非线性识别问题,并比较了线性识别方法和非线性识别方法在不同用户集规模下的适用性.采用CAS-PEAL大型人脸数据库中的表情集(330人)和姿...
  • 作者: 乔大勇 梁庆 苑伟政 虞益挺
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  169-172
    摘要: 设计了多种测试结构,采用在线实时观测的手段,深入研究了氢氟酸(HF)刻蚀二氧化硅牺牲层中,多种因素对刻蚀过程产生的影响,并对实验结果进行了详细分析.实验中可以明显观察到刻蚀过程中的反应限制阶...
  • 作者: 何瑾 刘铁根 孟卓 江俊峰
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  173-176
    摘要: 针对激光全息防伪标识的重要光学特性参数中衍射效率和信噪比的测试要求,提出了一种简便、可靠的自动测量方法.通过采用步进电机驱动的丝杠传动带动样品进行一维位移扫描,大光敏面的光电探测器将光强转化...
  • 作者: 孙宇臣 葛宝臻
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  177-181
    摘要: 分别利用基于光学三角形原理的光带法和彩色传感器直接拍照法实现对被测物体的三维彩色数字化,并利用传感器标定技术实现了三维信息与彩色信息的匹配.提出采用直接处理彩色传感器获取二维彩色图像的方法实...
  • 作者: 丛鹏 葛文勋
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  182-189
    摘要: 微机电系统(MEMS)自1988年迄今,已从初期的探索、研究和创新阶段转向了生产与应用的成熟阶段,与此同时开辟了很多新领域.对于在今后5~10年中MEMS研究和发展的动向,专家们因其背景不同...
  • 作者: 任大海 尤政 阎梅芝
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  190-196
    摘要: 研究了基于扭摆式结构的谐振式磁强计及其激振与测控系统,设计了扭摆式谐振磁强计的基本结构,其对称式结构能够抑制加速度对磁场检测的干扰.设计了L形梁来释放加工过程中的应力,推导了开环系统和闭环系...
  • 作者: 张世林 梁惠来 胡留长 郭维廉
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  197-199
    摘要: 采用离子注入方法制作了一种新型平面共振隧穿二极管(RTD),通过离子注入将器件之间进行隔离,避免了传统台面型RTD中采用的台面刻蚀所带来的一些缺点,并且表现出良好的I-V特性,峰谷电流比为3...
  • 作者: 张志杰 朴伟英 袁怡宝
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  200-204
    摘要: 针对柔性铰链转动中心偏移引起的误差,推导了柔性铰链回转精度计算的数学模型,以力学卡氏第二定理和微积分为理论基础,通过建立恰当的坐标系,推导出典型柔性铰链转动中心精度的统一解析形式,并用推导的...
  • 作者: 李德刚 梁迎春 白清顺 董申
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  205-210
    摘要: 为了研究脆性材料单晶硅原子级的纳米振动切削加工去除机制,应用分子动力学,通过改变刀具椭圆振动切削的模式,进行单晶硅纳米振动切削仿真.仿真结果表明,主切削力和法向力的变化趋势总体上呈现正弦曲线...
  • 作者: 吴成昌 姚素英 张生才 王云峰 肖夏 赵新为
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  211-214
    摘要: 利用激光烧蚀沉积法在n-Si(100)衬底上制备非晶硅(α-Si)薄膜,再经过高温退火技术处理使α-Si晶化成纳米硅晶体(nc-Si)量子点.利用拉曼(Raman)光谱仪、X射线衍射仪(XR...
  • 作者: 冯秋元 刘美 张剑 张忠涛 李廷举 金俊泽
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  215-219
    摘要: 施加强磁场用直流电镀法在Q235钢基体上成功制备了Ni/Al2O3纳米复合镀层.结果表明,随着磁感应强度的增大,镀层中纳米微粒含量增加,形成的纳米复合镀层均匀致密;当磁感应强度为8.0T时,...
  • 作者: 上原嘉宏 大森整 尹韶辉 张导成 林伟民 陈逢军
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  220-223
    摘要: 分析了在线电解修整(ELID)磨削和磁流变光整加工(MRF)的加工原理与特点,充分结合这2种技术的优点对单晶硅反射镜进行纳米级精度的组合加工.首先进行ELID高效率磨削,在线检测工件表面误差...
  • 作者: 刘雳頲 李晓光 李木军 沈连婠 赵玮 郑津津
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  224-229
    摘要: 光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响,是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一.为此,研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程,建立了相应的光刻理论模型,对光...
  • 作者: 仝召民 张斌珍 王勇 薛晨阳
    发表期刊: 2007年3期
    页码:  230-234
    摘要: 针对感应耦合等离子(ICP)刻蚀气室气体分布不均匀性所导致的被刻蚀台面中间厚、边缘薄及干法刻蚀后残余应力大等缺点,进行了GaAs/AlAs的选择性湿法腐蚀工艺研究.腐蚀液为50%一水柠檬酸(...
  • 作者: 丁衡高 朱荣
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  235-241
    摘要: 近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点:开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电(MEMS)应用和产业化能力...
  • 作者: 于虹 王静 黄庆安
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  242-244
    摘要: 硅微机械加工的梁、桥和板是微纳器件的基本结构;杨氏模量是描述力学性能的基本参数.用半连续方法计算了不同厚度的(001)硅纳米板沿[100]方向和[110]方向的应变能,并由此得到了两个方向上...
  • 作者: 宋义超 徐晨 李博 沈光地
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  245-248
    摘要: 研究了自终止腐蚀停法制备浓硼重掺杂硅薄膜的腐蚀孔问题.许多MEMS结构需要进行2次或2次以上的深刻蚀,有些需要在多次深刻蚀后释放超薄的悬空薄膜结构,这时薄膜表面极易出现微小的腐蚀孔.分析可知...
  • 作者: 杉山进 李以贵
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  249-252
    摘要: 描述了一种新的亚波长光栅的微细加工技术,即X光光刻得到相应的亚微米级的线宽图形,再利用显影技术获得了高深宽比的立体亚波长光栅.用此纳米加工技术获得了栅距为500nm、250nm、150nm,...
  • 作者: 李铁 王慧泉 王跃林 金仲和 马慧莲
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  253-255
    摘要: 通过选择性离子注入,在硅片表面形成P区、N区紧密接触的PN结结构.实验发现,在黑暗条件下,PN结N型区域可被HF酸或BOE溶液选择性腐蚀;该腐蚀速率与HF酸溶液浓度有关,随环境温度升高而加快...
  • 作者: 佘希林 曲建波 袁芳
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  256-260
    摘要: 采用聚合物溶液和熔体浸润多孔阳极氧化铝(AA0)模板的物理方法,成功制备了通孔的热塑性聚氨酯(TPU)纳米管及其阵列结构.扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)测试表明:有效地调...
  • 作者: 冯艳 刘爽 李保庆 褚家如 许晓慧
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  261-265
    摘要: 提出了一种基于锆钛酸铅(PZT)压电厚膜致动器阵列驱动的MEMS微变形镜,建立了该微变形镜的结构模型,分析了其结构中各层厚度对其性能的影响.PZT压电厚膜是通过基于PZT压电陶瓷体材料的湿法...
  • 作者: 包宗明 周嘉 王国勋 纪新明 鲍敏杭 黄宜平
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  266-268
    摘要: 结合光子晶体和表面等离子体共轭(surface plasmon resonance,SPR)技术,研究了一种新型的MEMS红外光源.相比传统的红外光源,该新型光源具有红外光谱窄、红外发射峰位...
  • 作者: 孟凡涛 褚金奎 赵开春 韩志涛
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  269-272
    摘要: 针对仿生微纳导航传感器敏感波段380~520 nm的要求,基于严格耦合波理论,设计了一种适用于蓝紫光波段的金属光栅偏振器,并应用等效介质理论直观地分析了金属光栅偏振器的工作原理.所设计的金属...
  • 作者: 樊尚春 汪彩霞
    发表期刊: 2007年4期
    页码:  273-276
    摘要: 对谐振式微机械传感器的敏感元件--微机械谐振梁的谐振频率特性进行了详细的实验研究,并从理论上分析了激励功率对谐振频率的影响.实验结果表明,谐振频率随着激励功率的增加而近似线性减小,当激励功率...

纳米技术与精密工程(英文)基本信息

刊名 纳米技术与精密工程(英文) 主编 胡小唐
曾用名 纳米技术与精密工程
主办单位 天津大学 中国微米纳米技术学会  主管单位 中华人民共和国教育部
出版周期 季刊 语种
eng
ISSN 1672-6030 CN 12-1458/03
邮编 300072 电子邮箱 namijishu@tju.edu.cn
电话 022-27892181 网址 http://nmjsyjmgc.tjujournals.com/
地址 天津市南开区卫津路92号

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