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微纳电子技术2010年第11期出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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总被引数（次）
16974
微纳电子技术
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《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
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主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
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16974
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要：
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 分析了对铁电场效应晶体管漏极电流特性有影响的铁电材料参数,设计了具有单层和双层栅介质结构的铁电场效应晶体管,并进行了仿真研究.仿真结果表明:具有高Pr/低Pr栅介质结构的铁电场效应晶体管在饱...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 利用Airy函数和传输矩阵方法计算了不对称势垒厚度的InP基AlAs/InGaAs/AlAs DBS结构在偏压情况下的共振透射系数,并通过材料生长和器件工艺制作得到了共振隧穿二极管的直流I-...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： SiGe纳米环、纳米螺绕环具有优异的电学、力学等性质,已成为非常重要的三维半导体纳米材料,在传感器、纳米电子学及纳机电系统中具有广阔的应用前景.简单介绍了制备SiGe纳米环、纳米螺绕环的方法...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 采用射频磁控溅射的工艺,在玻璃衬底上制备得到了铜铟镓硒(CIGS)薄膜.讨论了衬底温度、溅射气压、退火与否对CIGS薄膜与衬底结合力、显微形貌、晶化程度及电阻率的影响.通过能谱(EDS)测试...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 将锌粉和石墨粉以一定比例混合放入家用微波炉中,在微波辐照下燃烧生成了白色松软的ZnO膜,将此薄膜用扫描电子显微镜(SEM)、能量损失谱(EDS)、透射电子显微镜(TEM)和X射线衍射光谱(X...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 开通道电渗泵的结构简单,性能优越,制作工艺满足标准MEMS微加工工艺,是实现微泵片上集成应用的重要途径之一,可应用于微电子机械系统中作为液压致动元件.开通道电渗泵的压力流量性能与微通道的尺寸...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 微纳传感技术在研究组织和细胞的电生理活动、揭示细胞网络属性、研究神经传导及药物安全性测试等方面展现了它独特优势.针对组织电生理检测的多种微纳传感技术及其特点进行了描述与评价,着重对多点实时监...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 提出了一种采用非均匀分布MEMS结构的可调滤波器设计方案.基于这种新型结构,讨论了一个中心频率为20 GHz的二阶带通可调滤波器模型.通过HFSS对该二阶带通滤波器模型进行了全波分析.仿真结...
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10. 静电式RF MEMS开关的可靠性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： MEMS开关是最常见的RF MEMS控制元件,是RF结构中一个关键的MEMS器件.长期可靠性是目前制约MEMS开关商业化进程中的一个主要问题.主要综述了静电式RF MEMS开关可靠性的新进展...
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11. 提高微结构表面在镀液中的润湿性刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 为提高微结构在氨基磺酸镍镀液中的润湿性,研究了在该镀液中加入十二烷基硫酸钠(SDS)作为润湿剂和对微结构表面进行氧等离子体改性这两种方法的效果.测试了4种含不同SDS浓度的氨基磺酸镍镀液的极...
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刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要： 针对ICP刻蚀工艺进行了深入研究,探讨了气体流量、射频功率和工作室气压设定值等工艺参数对刻蚀效果的影响,最终在硅基底上获得了线宽为40μm时深刻蚀的最佳工艺参数,即采用BOSCH工艺,压力设...
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13. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2010年11期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
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| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
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| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
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| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
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