论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 微纳电子技术期刊 >
微纳电子技术2013年出版文献
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
微纳电子技术
分享
投稿
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。
创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成...
更多
主办单位：
中国电子科技集团公司第十三研究所
期刊荣誉：
俄罗斯《AJ》收录
美国《剑桥科学文摘》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
ISSN：
1671-4776
CN：
13-1314/TN
出版周期：
月刊
邮编：
050002
地址：
出版文献量（篇）
3266
总下载数（次）
22
总被引数（次）
16974
分享
文章浏览
目录
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 针对电容式MEMS微加速度计出现的输出值漂移问题,研究了后退火处理对封装好的电容式微加速度计的影响,选取的退火温度为110℃,退火时间为192 h.对退火后微加速度计的上电时刻零位值和上电1...
-
32. 微惯性开关L型闭锁梁分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 分析了目前微惯性开关中3种闭锁机构的基本工作原理.利用力学能量方法对L型闭锁机构的闭锁梁在主电极惯性力作用下的打开状态与闭锁状态的位移比,以及闭锁梁的动态位移进行了理论推导,进一步完善了此类...
-
33. 深槽刻蚀工艺中lag效应的研究刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 等离子体深刻蚀技术是MEMS制备的关键,利用该技术进行刻蚀时,会出现lag效应和反常lag效应,严重影响器件的性能.为了消除lag效应,建立刻蚀和钝化模型分析lag的产生,并利用ARDE表征...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 化学机械抛光中晶圆表面材料去除的非均匀性是影响抛光质量的主要因素之一.材料去除非均匀性直接影响上层布线的质量.通过对抛光垫与晶圆表面不同接触状态下的摩擦学分析,得到抛光垫与晶圆不同接触状态下...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 采用射频磁控溅射法在石英衬底和Si衬底上分别生长了Er2O3,Tm2O3和Yb2O3三种稀土氧化物薄膜.分别利用光学方法和X射线光电子能谱测量法对以上三种稀土氧化物的禁带宽度进行了测量,并将...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年3期页码:摘要： 以钇稳定氧化锆(YSZ)为固体电解质,Pt作为电极材料,在不同温度下共烧制备了泵氧电极层原型.借助计时电流法和电化学阻抗谱(EIS)法,并结合SEM分析研究了共烧温度对泵氧电极性能的影响.结...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 由于具有独特的一维纳米结构、稳定的化学特性和优异的电学性能,单壁碳纳米管被认为是制作高性能电子器件以及下一代纳米电路的理想材料,作为新型基础电子元件的一种,碳纳米管场效应晶体管一直是研究的热...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 研究限制在电极间并能做自由往复运动的微米尺度金属球的电荷穿梭特性,作为进一步研究纳米机电式穿梭器件的模型器件.通过测量不同电压下的穿梭电流,验证经典模型预测的电流与电压特性.精确测量实时的电...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 为进一步优化量子元胞自动机(QCA)电路的设计,采用5输入择多逻辑门,设计了新型3-8译码器,降低了延时和面积,提高了传输线的正确概率,减小了传输线之间的串扰,利用QCADesigner验证...
-
40. InP晶片位错密度的测量与分析刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 采用湿法腐蚀方法研究了HCl,H3PO4和HBr等不同腐蚀液在显示＜100＞InP晶片位错中的作用,及腐蚀温度、腐蚀时间、光照条件等因素对腐蚀速率和腐蚀效果的影响,最后统计3英寸(1英寸=2...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 设计制作了适用于无致冷工作的通讯用1.3μm量子阱激光器材料,并制作成单模芯片进行特性分析研究.采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了AlGaInAs/InP应变补偿量子阱材料,采...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计.此设计将单片机技术与直接数字频率合成技...
-
43. 引信用MEMS开关的设计技术刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 简要地介绍了常见MEMS开关的工作原理,并根据不同的驱动方式和工作频率范围对MEMS开关进行分类.根据引信可靠性要求,强调了能够保证引信电源内部接电回路MEMS开关性能的3个关键参数:开关闭...
-
44. 纳米银导电图形薄膜的数字化微打印刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 采用以脉冲为微流动基本形态、脉冲当地惯性力为主动力的微流体数字化技术进行纳米银导电图形薄膜微打印实验研究.在搭建的基于微流体数字化技术的纳米银导电图形薄膜微打印系统上,将水合肼溶液数字化微打...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 提出一种采用紫外光刻工艺及压印快速制造平面微透镜阵列的新技术.首先采用光刻工艺制作出平面圆柱形阵列,然后用热熔法将圆柱形阵列转化为微透镜阵列.以此微透镜阵列为母板,通过聚二甲基硅氧烷(PDM...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 原子力显微镜(AFM)是生物显微技术的一个重要组成部分,可实现液体环境下活细胞高分辨率的成像与操作,为细胞生物学研究提供了新的方法.近年来,AFM已经逐渐发展成为集样品成像、力测量及操作等功...
-
47. 石墨烯微纳结构加工技术的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要： 简单介绍了石墨烯独特的光电子性质,说明实现其在光电子器件中应用的有效方法是进行微纳加工.接下来对主要的石墨烯微纳加工技术——掩膜光刻、转移压印以及激光直写和干涉进行详细阐述,通过实例对每种加...
-
48. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年4期页码:摘要：
-
49. 嵌入式闪存器件技术进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 首先介绍了嵌入式闪存器件的基本工作原理,并根据具体的技术特点和应用整理归纳出了嵌入式闪存器件的三种主流单元结构:单晶体管器件结构、分裂栅器件结构和选择晶体管加存储晶体管的两管器件结构,然后详...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 介绍了第三代太阳电池的关键工艺技术——锌锡黄矿化合物Cu2ZnSnS4薄膜的制备技术,回顾了近些年来国内外Cu2ZnSnS4薄膜电池的发展历程与研究现状,讨论了该薄膜在应用过程中面临的挑战与...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 对976 nm激光器的三种非对称波导结构,即非对称直波导结构、非对称渐变波导结构和非对称梯形波导结构进行了基模光场和折射率分布的模拟,通过与对称波导结构的模拟结果进行对比,得到非对称直波导结...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 研究了在两种衬底温度(Tsub)下射频磁控溅射淀积铝掺杂ZnO薄膜对ZnO/Si异质结太阳电池的微结构和开路电压(Voc)的影响.在淀积温度为室温时,ZnO薄膜的光学带隙(Egopt)是3....
-
53. 闭环微加速度计非线性补偿刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 离心标定修正微加速度计的非线性存在周期长和成本高等缺点,寻找一种可以提高生产效率的修正办法具有重要意义.推导了理想情况下加速度计的工作原理,并对载波带来的附加静电力对测试结果的影响进行了分析...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 分子动力学方法及分子动力学和计算流体力学混合的模拟方法是研究纳米通道中流体流动的重要手段.简要分析了纳米通道中流体流动的各种新特性及其出现的原因;针对不同流体模型的建立、不同流动过程的实现、...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 给出了一种基于MEMS技术的静电悬浮转子微陀螺,可同时测量两轴角速度和三轴线加速度.针对转子结构,提出了一种基于模拟PI技术的非集中控制策略来实现悬浮控制.由于起支控制是一个典型的非线性控制...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 在分析微机械热对流加速度传感器的工作原理及其有限元仿真的基础上,对传感器的瞬态响应进行了分析,建立了描述热对流加速度传感器频率响应特性的半定量的理论模型.结合有限元仿真结果,模型预测的热对流...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 相对于常规光栅制造方法(如机械刻划和光学曝光等工艺)而言,连续辊压印技术更易实现低成本、连续和高效的大面积制造.高精度栅结构辊压印圆柱辊模具的制备工艺技术是连续辊压印技术实现高精度光栅复制的...
-
刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 结合丝网印刷技术、烘烤工艺和烧结工艺,采用印刷ZnO层和银浆层相结合的方案,进行了分段复合衬底电极的制作.该分段复合衬底电极能够降低无效的阴极电压降,增强三极场发射显示器的发光亮度并改善其发...
-
59. 单晶硅各向异性湿法刻蚀的研究进展刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要： 单晶硅各向异性湿法刻蚀是制作硅基微电子机械系统(MEMS)器件的重要步骤之一,由于具有刻蚀均匀性好、批量大、成本低的优点而深受关注.首先回顾了单晶硅各向异性湿法刻蚀的刻蚀机理,比较了三种常用...
-
60. 信息动态刊名： 微纳电子技术发表期刊： 2013年5期页码:摘要：
微纳电子技术基本信息
| 刊名 | 微纳电子技术 | 主编 | 李和委 |
| 曾用名 | 半导体情报(1964-2001) | ||
| 主办单位 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 主管单位 | 中华人民共工业和信息化部 |
| 出版周期 | 月刊 | 语种 |
chi
|
| ISSN | 1671-4776 | CN | 13-1314/TN |
| 邮编 | 050002 | 电子邮箱 | wndz@vip.sina.com |
| 电话 | 0311-87091487 | 网址 | www.wndz.org |
| 地址 | 石家庄市179信箱46分箱 |
微纳电子技术评价信息
该刊被以下数据库收录
| 1. | 文摘杂志(俄) |
| 2. | 科学文摘(英) |
| 3. | 中国科技论文统计与引文分析数据库 |
期刊荣誉
| 1. | 俄罗斯《AJ》收录 |
| 2. | 美国《剑桥科学文摘》收录 |
| 3. | 英国《SA》,INSPEC数据库收录 |
微纳电子技术统计分析
被引趋势
(/次)
(/年)
学科分布
研究主题
推荐期刊
- 期刊分类
- 最新期刊
- 期刊推荐
- 相关期刊
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
安徽电子信息职业技术学院学报
半导体光电
半导体光子学与技术(英文版)
半导体技术
半导体学报(英文版)
北京电子
电信建设
北京通信之窗
吉林大学学报(信息科学版)
重庆邮电大学学报(自然科学版)
湖南邮电职业技术学院学报
磁性材料及器件
电波科学学报
电声技术
电讯技术
电子学报
电子学报(英文)
电力电子
电力系统通信
电路与系统学报
电气电子教学学报
电视技术
影视制作
电信工程技术与标准化
电信交换
